【什么是石墨舟】石墨舟是一种在高温工业中广泛应用的耐火材料制品,主要用于半导体制造、光伏产业以及金属热处理等领域。它具有良好的导热性、化学稳定性和耐高温性能,能够承受高达2000℃以上的高温环境。石墨舟通常由高纯度石墨制成,结构设计合理,可有效支撑和保护被加工材料。
以下是关于“什么是石墨舟”的总结与表格形式的详细说明:
一、
石墨舟是一种用于高温工艺过程中的容器或承载工具,主要由高纯石墨制成。它具备优良的导热性能、抗热震性以及化学稳定性,广泛应用于半导体晶圆生长、硅片热处理、金属烧结等工业过程中。其结构多为多孔或网状设计,便于气体流通和热量传递,同时保证了材料在高温下的均匀受热和稳定运行。由于其耐高温、不易氧化的特性,石墨舟在现代工业中扮演着不可或缺的角色。
二、表格展示
项目 | 内容 |
名称 | 石墨舟 |
定义 | 一种用于高温工艺中的耐火材料容器,主要由高纯石墨制成。 |
用途 | 半导体制造、光伏产业、金属热处理、陶瓷烧结等高温工艺中。 |
材质 | 高纯石墨(如鳞片石墨、人造石墨等)。 |
特点 | - 耐高温(可达2000℃以上) - 导热性能好 - 化学稳定性强 - 抗热震性好 - 不易氧化 |
结构形式 | 多孔式、网状、层叠式等,便于气体流动和热量分布。 |
优点 | - 可重复使用 - 成本相对较低 - 易于加工和维护 |
缺点 | - 在氧化气氛中易发生氧化反应 - 表面易受到腐蚀 |
适用温度范围 | 一般在1200℃至2000℃之间 |
常见应用领域 | 半导体单晶硅生长、太阳能电池板制造、金属粉末烧结等 |
通过上述内容可以看出,石墨舟虽看似简单,但在高温工业中却发挥着重要作用。随着技术的发展,石墨舟的性能也在不断提升,以满足更高效、更环保的生产需求。