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什么是石墨舟

2025-09-23 01:37:08

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什么是石墨舟,真的急需帮助,求回复!

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2025-09-23 01:37:08

什么是石墨舟】石墨舟是一种在高温工业中广泛应用的耐火材料制品,主要用于半导体制造、光伏产业以及金属热处理等领域。它具有良好的导热性、化学稳定性和耐高温性能,能够承受高达2000℃以上的高温环境。石墨舟通常由高纯度石墨制成,结构设计合理,可有效支撑和保护被加工材料。

以下是关于“什么是石墨舟”的总结与表格形式的详细说明:

一、

石墨舟是一种用于高温工艺过程中的容器或承载工具,主要由高纯石墨制成。它具备优良的导热性能、抗热震性以及化学稳定性,广泛应用于半导体晶圆生长、硅片热处理、金属烧结等工业过程中。其结构多为多孔或网状设计,便于气体流通和热量传递,同时保证了材料在高温下的均匀受热和稳定运行。由于其耐高温、不易氧化的特性,石墨舟在现代工业中扮演着不可或缺的角色。

二、表格展示

项目 内容
名称 石墨舟
定义 一种用于高温工艺中的耐火材料容器,主要由高纯石墨制成。
用途 半导体制造、光伏产业、金属热处理、陶瓷烧结等高温工艺中。
材质 高纯石墨(如鳞片石墨、人造石墨等)。
特点 - 耐高温(可达2000℃以上)
- 导热性能好
- 化学稳定性强
- 抗热震性好
- 不易氧化
结构形式 多孔式、网状、层叠式等,便于气体流动和热量分布。
优点 - 可重复使用
- 成本相对较低
- 易于加工和维护
缺点 - 在氧化气氛中易发生氧化反应
- 表面易受到腐蚀
适用温度范围 一般在1200℃至2000℃之间
常见应用领域 半导体单晶硅生长、太阳能电池板制造、金属粉末烧结等

通过上述内容可以看出,石墨舟虽看似简单,但在高温工业中却发挥着重要作用。随着技术的发展,石墨舟的性能也在不断提升,以满足更高效、更环保的生产需求。

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